1. 目的
制訂電源車間高效過(guò)濾器的檢漏標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程
2. 適用范圍
本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈廠房高效過(guò)濾器泄漏的檢查
3. 職責(zé)
質(zhì)量控制部：負(fù)責(zé)電源無(wú)塵車間內(nèi)部潔凈廠房高效過(guò)濾器檢漏
4.內(nèi)容
4.1. 測(cè)試方法：塵埃粒子計(jì)數(shù)掃描巡檢法
4.2. 測(cè)試范圍：層流或亂流潔凈區(qū)/室。包括：層流工作臺(tái)，生產(chǎn)車間各功能間的高效過(guò)濾器，必須在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)以下部位進(jìn)行掃描巡查：
4.2.1. 高效過(guò)濾器的濾材
4.2.2. 高效過(guò)濾器的濾材與其框架內(nèi)部的連接
4.2.3. 高效過(guò)濾器框架的密封墊和過(guò)濾器組支撐架之間的連接
4.2.4. 高效過(guò)濾器支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接
4.3. 檢測(cè)儀器
塵埃粒子計(jì)數(shù)器
4.4. 原理
根據(jù)浮游粒子在一定強(qiáng)度的光照射下所散射出與其粒徑成一定比例關(guān)系的光通量原理，粒子散射光經(jīng)光電轉(zhuǎn)換變成電信號(hào)，經(jīng)放大和計(jì)算機(jī)處理后被顯示器顯示粒子當(dāng)量直徑和相應(yīng)粒子數(shù)量
4.5. 檢測(cè)程序
4.5.1.使用大氣塵進(jìn)行檢漏，當(dāng)用大氣塵檢漏時(shí)，過(guò)濾器上游濃度(0.5μm)應(yīng)不小于4000粒/L。如上游濃度達(dá)不到規(guī)定要求時(shí)應(yīng)采用適當(dāng)措施，增加上游濃度。
4.5.2. 用塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣頭掃描過(guò)濾器的出風(fēng)側(cè)。采樣頭離過(guò)濾器距離約2cm-3cm處，掃描速度宜為1.5cm/s(28.3L/min)
4.5.3. 采樣管的長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)0.5m。
4.5.4. 掃描檢漏時(shí)應(yīng)拆去高效過(guò)濾器外的孔板或裝飾層。
4.5.5.
掃描檢漏時(shí)，若塵埃粒子計(jì)數(shù)器顯示出非零的特征讀數(shù)，則表示可能有漏泄，應(yīng)把采樣口停在漏泄處1min，確定讀數(shù)是否大于等于3粒，如大于等于3粒則判漏，如未達(dá)到3粒則判為不漏。
4.5.6. 高效過(guò)濾器更換或處理后，應(yīng)再次進(jìn)行掃描巡檢。
4.6. 檢測(cè)頻度
4.6.1. 在安裝或更換高效過(guò)濾器時(shí)應(yīng)進(jìn)行檢測(cè)。
4.6.2. 正常使用情況下，每年至少檢測(cè)一次。
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